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省重點研發(fā)計劃項目“碳化硅基片高效精密加工及其成套技術設備關鍵技術”通過驗收

市場分析 2025年11月24日 10:28:39來源:宇環(huán)數(shù)控機床股份有限公司 2711
摘要項目順利通過驗收,標志著公司在第三代半導體加工裝備領域核心技術突破取得重要成果,宇環(huán)數(shù)控將持續(xù)深化項目技術轉(zhuǎn)化與推廣應用,加大研發(fā)投入力度,推動半導體加工裝備技術迭代升級,為湖南先進制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展貢獻力量。
  【機床商務網(wǎng)欄目 市場分析】11月20日,宇環(huán)數(shù)控機床股份有限公司牽頭承擔的湖南省重點研發(fā)計劃“碳化硅基片高效精密加工及其成套技術設備關鍵技術”項目順利通過湖南省科技廳組織的綜合績效評價驗收。驗收會由湖南省科學技術事務中心研究員謝靜波主持,瀏陽市科技局黨組副書記、副局長周曄虹參會,集團董事長許世雄先生出席會議并致歡迎詞。
 
  研發(fā)項目現(xiàn)場驗收
 

 

  績效評價專家組由3位技術專家和1名財務專家組成,專家組通過聽取項目負責人對項目實施情況、形成技術及主要成果、經(jīng)費執(zhí)行情況等方面的詳細匯報,結(jié)合現(xiàn)場察看產(chǎn)品、審閱相關驗收材料及質(zhì)詢討論,一致認為項目組提交的驗收資料齊全、規(guī)范、符合項目驗收要求。項目完成了任務書規(guī)定的考核指標,對碳化硅基片高效精密磨削、研磨與拋光加工工藝進行了系統(tǒng)研究,在高精度氣浮電主軸技術、高精度氣浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)臺技術、拋光盤壓力高精度穩(wěn)定控制技術、高精度靜壓轉(zhuǎn)臺技術等核心技術取得了突破,提出了碳化硅減薄磨床立柱布局新結(jié)構(gòu)。研制了高精度立式單面磨床、高精度立式雙面研磨(拋光)機等三款整體技術具有國際先進水平的產(chǎn)品,取得了顯著的經(jīng)濟和社會效益,建議加大新產(chǎn)品推廣力度,同時利用相關技術開發(fā)系列產(chǎn)品滿足市場需求,一致同意通過驗收。
 

 

  項目順利通過驗收,標志著公司在第三代半導體加工裝備領域核心技術突破取得重要成果,宇環(huán)數(shù)控將持續(xù)深化項目技術轉(zhuǎn)化與推廣應用,加大研發(fā)投入力度,推動半導體加工裝備技術迭代升級,為湖南先進制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展貢獻力量。
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