【機(jī)床商務(wù)網(wǎng)欄目 展會(huì)預(yù)告】拆開一臺(tái)高端半導(dǎo)體設(shè)備，你會(huì)發(fā)現(xiàn)，突破“卡脖子”的關(guān)鍵，往往就藏在那些數(shù)萬個(gè)不起眼的零部件里。
 

　　硬脆材料怎么鉆？復(fù)雜腔體怎么銑？數(shù)萬個(gè)精密部件怎么組裝？在微納米級(jí)表面精度、高效精準(zhǔn)組裝的路上，你的“攔路虎”是什么？
 

　　如果你關(guān)注半導(dǎo)體精密制造，也正被這些制造難題困擾，不想再四處奔波調(diào)研、盲目尋源，那么3月31日-4月3日，你必須來深圳國際會(huì)展中心一趟。
 

　　第27屆ITES深圳工業(yè)展，將匯聚行業(yè)頂尖的精密加工工藝和自動(dòng)化技術(shù)，為你一次性呈現(xiàn)從超精密零件加工、精密裝配及一站式部件選型的“最優(yōu)答案”！
 

　　關(guān)注半導(dǎo)體設(shè)備零部件來ITES必看這5大核心板塊
 

　　作為華南地區(qū)唯一匯聚國內(nèi)外裝備技術(shù)品牌及原廠的專業(yè)展覽，ITES深耕精密制造領(lǐng)域，針對(duì)性搭建半導(dǎo)體設(shè)備零部件相關(guān)展示場景，從核心加工設(shè)備、先進(jìn)制造工藝，到檢測方案、功能部件，全方位覆蓋半導(dǎo)體設(shè)備零部件制造。
 

　　核心工藝逐個(gè)拆
 

　　您關(guān)心的板塊這都有
 

　　在ITES，你將得到↓
 

　　§ 技術(shù)迭代：一站式掌握半導(dǎo)體設(shè)備零部件制造的前沿工藝，從超精密加工到脆性材料加工，從自動(dòng)化裝配到智能檢測，找到自身產(chǎn)品升級(jí)的清晰技術(shù)路徑。
 

　　§ 供應(yīng)鏈升級(jí)：對(duì)接優(yōu)質(zhì)的核心零部件供應(yīng)商，解決腔體、閥門、傳感器、連接器等關(guān)鍵部件的“卡脖子”問題，建立穩(wěn)定、高效的供應(yīng)鏈合作體系。
 

　　§ 解決方案：針對(duì)自身產(chǎn)品的加工精度、應(yīng)力控制、密封性能等痛點(diǎn)，找到對(duì)應(yīng)的解決方案與技術(shù)合作伙伴，直接提升產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。
 

　　§ 深度洞察：與同行專家、技術(shù)人員深度交流，把握半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的趨勢與機(jī)遇，拓展人脈資源，碰撞出更多創(chuàng)新思路。
 

　　1
 

　　解鎖零部件背后的加工“硬實(shí)力”半導(dǎo)體設(shè)備零部件按功能可分為六類：機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類、氣體/液體/真空系統(tǒng)類、儀器儀表類、光學(xué)類。其中占比較大的包括：機(jī)械類零部件約占半導(dǎo)體設(shè)備零部件的20%-40%、電氣零部件約占10%-20%、機(jī)電一體類約占到10%-25%、氣體/液體/真空系統(tǒng)類占10%-30%，另有金屬結(jié)構(gòu)件等配套支撐。
 

　　半導(dǎo)體設(shè)備零部件的制造，對(duì)加工設(shè)備的精度、穩(wěn)定性、柔性要求極高，無論是復(fù)雜腔體銑削、硬脆材料微孔加工，還是軸類、齒輪等精密零件加工，都需要頂尖設(shè)備作為支撐。2026 ITES核心主題展——金屬切削機(jī)床展與金屬板材管材加工技術(shù)展，匯聚600+國內(nèi)外頂尖裝備品牌及原廠，帶來超千套先進(jìn)設(shè)備，精準(zhǔn)適配半導(dǎo)體設(shè)備零部件制造需求。
 

　　關(guān)鍵部件一站式加工全覆蓋逛展不走空！
 

　　山崎馬扎克-半導(dǎo)體真空腔體精密加工

 

　　山崎馬扎克的VARIAXIS i-700 NEO這一立式五軸加工中心，就可以解決半導(dǎo)體設(shè)備中脆性材料零部件加工的高效高精度需求。該機(jī)型可以根據(jù)材料特性選擇不同的主軸，結(jié)合PALLETECH這一自動(dòng)化系統(tǒng)，還可以實(shí)現(xiàn)脆性材料零部件的加工自動(dòng)化。
 

北京精雕（盤類零件加工）
 

　　北京精雕的JDHGMG600三軸高速磨削中心具有微米級(jí)精度的加工能力，不僅擅長玻璃、陶瓷、硅等脆性材料的磨削加工，更是可以實(shí)現(xiàn)2~5μm精度的精密磨削。以單晶硅噴淋盤為例，搭配PCD鉆頭，JDHGMG600可以加工長徑比高達(dá)28:1的微孔，同時(shí)將孔徑尺寸和空間相對(duì)位置精度都控制在±10μm，并做到孔口無崩邊、無裂紋。
 

兄弟機(jī)床（閥體加工）
 

　　真空閥零件通常為減少氣體吸附和顆粒附著，表面粗糙度通常需達(dá)到Ra 0.2μm甚至更高。兄弟機(jī)床的M300Xd1-5AX通過采用大功率馬達(dá)的銑削主軸和車削主軸以及具備高夾緊力的傾斜轉(zhuǎn)臺(tái)，對(duì)車削與銑削的復(fù)合加工及多面加工均可發(fā)揮出色的生產(chǎn)效率。最大刀具長度的增加可搭載的刀具長度延伸到250mm，適用于真空閥體等零部件深內(nèi)徑車削等更多加工。
 

單色科技（激光微孔加工）
 

　　公司的星旋系列 ML-VORTEX 飛秒激光異形微孔成型設(shè)備，依托五軸高精度聯(lián)動(dòng)，可高效實(shí)現(xiàn)復(fù)雜曲面加工及各類異形孔加工，加工能力覆蓋圓孔、方孔、星形孔等多類異形孔型。能精準(zhǔn)加工不銹鋼、鈦合金、鉬、鎢鋼、鎢箔合金等高硬度、高熔點(diǎn)金屬材料，同時(shí)可穩(wěn)定處理氮化硅陶瓷等硬脆材料，實(shí)現(xiàn)±1μm以內(nèi)的加工精度，可重點(diǎn)應(yīng)用于半導(dǎo)體測試設(shè)備的探針卡加工等。
 

誼科（鈑金結(jié)構(gòu)件加工）
 

　　誼科LC 608 B精密激光切割系統(tǒng)，設(shè)備采用自研Opticut Suite控制系統(tǒng)，高配置硬件，結(jié)合高速總線，高效率、高精度的運(yùn)動(dòng)控制與加工技術(shù)，加工范圍達(dá)635×815mm，最小孔徑0.10mm(100um)，實(shí)現(xiàn)微型孔加工能力，并確?？妆谫|(zhì)量優(yōu)異，孔緣整齊、圓度好、毛刺可控，設(shè)備標(biāo)配夾持治具解決薄板跳動(dòng)問題，保障批量生產(chǎn)一致性，適用于半導(dǎo)體精密配件的加工需求。
 

倍聞自動(dòng)化
 

　　倍聞推出的緊湊型機(jī)器人折彎單元BW-HBS200針對(duì)小型鈑金件的折彎需求，集成機(jī)器人復(fù)合抓手、重力/視覺對(duì)中、桁架上料及自動(dòng)換模系統(tǒng)，搭配離線編程，實(shí)現(xiàn)小型鈑金件小批量多品種柔性折彎、抓取與碼垛，適用于氣柜等鈑金框架的加工處理。
 

 

　　2
 

　　200+精密加工企業(yè)匯聚一站式對(duì)接源頭機(jī)加廠在半導(dǎo)體設(shè)備零部件的制造過程中對(duì)加工精度、材料純度及表面質(zhì)量的要求極為苛刻。
 

　　除了高端裝備以外，ITES現(xiàn)場還將云集國內(nèi)外頂尖精密加工企業(yè)，能夠提供從高精密銑削、磨削、特種工藝加工到特殊表面處理的全流程制造服務(wù)，覆蓋“源頭研發(fā)設(shè)計(jì)、制造生產(chǎn)、表面處理、合同制造”，助力突破半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件的技術(shù)瓶頸，滿足晶圓制造、刻蝕、薄膜沉積等關(guān)鍵環(huán)節(jié)對(duì)零部件的嚴(yán)苛需求。
 

　　金智捷-精密零部件切削加工

 

　　金智捷擁有21年服務(wù)日本及歐美高端客戶的技術(shù)沉淀，建立了完善的精密制造體系，具備從模具設(shè)計(jì)、壓鑄成型、精密加工到表面處理的全產(chǎn)業(yè)鏈配套能力，可滿足JIS、ASTM、DIN等國際標(biāo)準(zhǔn)要求。重點(diǎn)應(yīng)用于汽車、半導(dǎo)體設(shè)備、通訊設(shè)備、3C消費(fèi)電子及醫(yī)療精密儀器等高端制造領(lǐng)域。
 

中電愛華
 

　　致力于提供一流的金屬結(jié)構(gòu)件整體解決方案。公司員工超過3000人，目前已建成占地40萬平方米、年產(chǎn)值達(dá)25億元的現(xiàn)代化大型園區(qū)。擁有精密加工、壓鑄/半固態(tài)壓鑄、CNC加工、鈑金加工、表面處理、工裝模具及裝配等全流程工藝加工能力，重點(diǎn)應(yīng)用于新能源汽車、能源、通信、半導(dǎo)體、機(jī)器人、低空經(jīng)濟(jì)等領(lǐng)域。
 

東匯精密
 

　　深圳市東匯精密機(jī)電有限公司成立于2009年,是一家集研發(fā)、制造、銷售于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司目前產(chǎn)品主要包括精密零部件、精密滑臺(tái)與模組、顯微鏡(移動(dòng))載物臺(tái)、伺服電機(jī)、自動(dòng)化設(shè)備等產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于醫(yī)療器械、 生物基因、新能源、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
 

蘇敏特
 

　　公司引進(jìn)了德國進(jìn)口德瑪吉五軸加工中心、美國哈斯五軸加工中心等高精密生產(chǎn)設(shè)備用于加工精密金屬零件、塑膠零件、五軸零件、鈑金零件等。同時(shí)公司還引進(jìn)了德國進(jìn)口蔡司CMM三次元等高精密檢測儀器，滿足對(duì)產(chǎn)品全方位檢測，重點(diǎn)應(yīng)用于醫(yī)療、半導(dǎo)體、航空、能源、汽車、通訊、機(jī)器人等行業(yè)。
 

 

　　3
 

　　擁抱零部件制造的“智能生產(chǎn)時(shí)代”半導(dǎo)體設(shè)備的高可靠性要求，決定了其零部件必須經(jīng)過極為嚴(yán)苛的工藝后處理與品質(zhì)驗(yàn)證——從表面粗糙度的精密拋磨，到亞微米級(jí)缺陷的智能檢測，再到高潔凈度環(huán)境下的自動(dòng)裝配與柔性組裝，每一道工序都在為前端加工的“精度”賦予可靠性的靈魂。
 

　　2026 ITES機(jī)器人及自動(dòng)化設(shè)備展特設(shè)“精密零組件生產(chǎn)自動(dòng)化”專區(qū)，將完整覆蓋從表面處理、缺陷檢測到自動(dòng)裝配、自動(dòng)化組裝的全鏈條后處理流程，讓零部件從“加工出來”到“可靠交付”的每一步都精準(zhǔn)可控。同時(shí)，工業(yè)控制及機(jī)械傳動(dòng)技術(shù)專區(qū)，將展示工業(yè)控制、傳感、連接等應(yīng)用集成方案，為零部件智能化制造提供核心支撐。
 

　　非夕機(jī)器人
 

　　非夕機(jī)器人的自適應(yīng)力控打磨方案中的機(jī)器人，通過高精度力覺傳感器與柔性軌跡規(guī)劃，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)件、真空閥體等復(fù)雜曲面的恒力拋光與邊緣去毛刺，表面粗糙度穩(wěn)定控制在Ra 0.1μm以下，有效解決人工打磨一致性差、良率波動(dòng)難題。
 

中圖儀器
 

　　SuperView WT3000復(fù)合型光學(xué)3D表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)，可精準(zhǔn)識(shí)別噴淋盤微孔崩邊、腔體內(nèi)壁附著顆粒等納米級(jí)缺陷，為半導(dǎo)體零部件筑牢質(zhì)量防線；
 

富士智能
 

　　Detal蜘蛛手是一種具備高速、高精度的機(jī)器人，被廣泛應(yīng)用在柔性上料領(lǐng)域，結(jié)合柔性振動(dòng)盤，AI視覺，儲(chǔ)料倉，定制化吸盤高度集成為智能柔性上料站，在自動(dòng)化多產(chǎn)品上料，柔性化生產(chǎn)中發(fā)揮著巨大的作用；在3C電子元器件，醫(yī)療器械，半導(dǎo)體，精密五金，橡膠塑膠自動(dòng)化上料方面被廣泛應(yīng)用。
 

珞石機(jī)器人
 

　　珞石機(jī)器人的Helios輪式雙臂機(jī)器人擁有HSA高性能一體化集成力控關(guān)節(jié)，能夠?qū)崿F(xiàn)輪式雙臂機(jī)器人曲面恒力打磨，通過姿態(tài)-視覺-力控制策略實(shí)現(xiàn)多模態(tài)融合感知，結(jié)合激光SLAM導(dǎo)航，無需對(duì)環(huán)境進(jìn)行改造，即可在復(fù)雜場景中自主導(dǎo)航與決策。在工業(yè)領(lǐng)域中的料箱搬運(yùn)、復(fù)雜物料分揀、精密裝配、力控打磨等場景得到廣泛應(yīng)用。
 

全傳科技
 

　　公司的直線導(dǎo)軌、滾珠螺桿、滾珠花鍵轉(zhuǎn)系列及模組等產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓傳輸設(shè)備專用傳動(dòng)方案中，提供0.1μm級(jí)滾珠螺桿+專利線性滑軌組合，滿足晶圓傳輸?shù)母呔榷ㄎ慌c高速響應(yīng)需求，旗下高端品牌MOTIONX產(chǎn)品系列，還能抵御半導(dǎo)體車間粉塵對(duì)傳動(dòng)部件的侵蝕。
 

 

　　4
 

　　不止于“看”打卡配套專題論壇除實(shí)地觀摩設(shè)備、體驗(yàn)工藝、對(duì)接產(chǎn)線之外，2026 ITES工業(yè)新智大會(huì)“半導(dǎo)體設(shè)備”系列論壇，還將邀請東匯、模德寶、朗恩精密、深圳大學(xué)增材制造研究院等行業(yè)大咖，從半導(dǎo)體設(shè)備零部件制造的工藝演進(jìn)、技術(shù)趨勢與市場需求，助力觀展者精準(zhǔn)把握行業(yè)風(fēng)口，找準(zhǔn)企業(yè)發(fā)展方向。
 

　　半導(dǎo)體設(shè)備系列論壇
 

　　01
 

　　半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件先進(jìn)制造發(fā)展論壇
 

　　關(guān)鍵議題：
 

　　超快激光在半導(dǎo)體設(shè)備精密部件中的應(yīng)用
 

　　缺陷檢測、套刻與關(guān)鍵尺寸測量
 

　　02
 

　　半導(dǎo)體腔體拋光與氣密性檢測論壇
 

　　關(guān)鍵議題：
 

　　腔體高精密多工位復(fù)雜型面制造技術(shù)
 

　　視覺檢測賦能產(chǎn)品質(zhì)量檢測和升級(jí)制造
 

　　腔體內(nèi)壁拋光
 

　　03
 

　　半導(dǎo)體設(shè)備自動(dòng)化部件國產(chǎn)化論壇
 

　　關(guān)鍵議題：
 

　　構(gòu)建“磁懸浮+AI”智能制造新范式，賦能半導(dǎo)體設(shè)備升級(jí)
 

　　碼垛機(jī)器人技術(shù)前沿與半導(dǎo)體制造融合的探索
 

　　04
 

　　半導(dǎo)體設(shè)備噴淋盤超微孔先進(jìn)制造技術(shù)論壇
 

　　關(guān)鍵議題：
 

　　微孔加工超精密加工技術(shù)
 

　　噴淋盤微孔全尺寸自動(dòng)化檢測與毛刺管控方案
 

　　微孔三維形貌與流量特性精準(zhǔn)檢測
 

　　例如，朗恩精密銷售總監(jiān)黎健明將針對(duì)半導(dǎo)體零部件中陶瓷、碳化硅等材料加工出現(xiàn)的崩邊、讓刀、精度不穩(wěn)定等行業(yè)痛點(diǎn)，結(jié)合公司超聲波精密加工中心與創(chuàng)新超聲刀柄技術(shù)，闡述如何在φ0.1mm級(jí)微孔加工上實(shí)現(xiàn)突破，并通過0.0005mm重復(fù)定位精度、±0.0015mm孔位精度控制等能力，賦能硬脆材料加工。
 

　　深圳大學(xué)增材制造研究所研究員屈飄將針對(duì)SiC基亞精密(<2μm)結(jié)構(gòu)件陶瓷成形在傳統(tǒng)成形工序長、成本壓力大；光固化亞精密增材制造SiC基陶瓷工藝難度大；亞精密SiC基陶瓷致密化工藝成本高等行業(yè)痛點(diǎn)，展示預(yù)氧化粉體光固化快速打印技術(shù)、基于前軀體轉(zhuǎn)化陶瓷的SiC基陶瓷一體化快速成形方案以及硅基前軀體修飾下的高性能快速反應(yīng)燒結(jié)方案。
 

　　從材料選型、加工工藝到質(zhì)量管控，逐一拆解全流程解決方案，不止于聽，更能帶走可復(fù)用的實(shí)戰(zhàn)方法論。
 

　　5
 

　　開春赴約頭部買家已就位產(chǎn)業(yè)鏈頭部買家都預(yù)訂組織多部門到場參觀，這場制造業(yè)的開春大SHOW，看看有沒有Pick中你耳熟能詳?shù)钠髽I(yè)，快來跟大家偶遇交流！
 

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