非球面透鏡在照相機(jī)、光學(xué)儀器、通訊、天文及軍工等行業(yè)應(yīng)用十分廣泛。傳統(tǒng)的加工方法是先通過一些設(shè)備粗磨后再經(jīng)過精密研磨和精密拋光來完成。其大部分工作是通過手工進(jìn)行的。在加工中由于要反復(fù)地進(jìn)行丈量和修磨,加工周期長、本錢高,而且不易獲得高精度,對操縱者技能的要求也很高。
由于目前國內(nèi)還無法提供該類產(chǎn)品,根據(jù)用戶的要求,北京東華精機(jī)*有限公司研制成功了DHM一500U超精密非球面磨床。傳統(tǒng)方法加工一片非球面透鏡大約需2~3個月的時間,而采用該磨床磨削一片非球面透鏡大約只需7—10天。
該磨床的主軸、磨頭、溜板和轉(zhuǎn)臺全部采用液體靜壓結(jié)構(gòu),可以達(dá)到很高的精度和剛度。X、Z、B三軸全部采用超精密級光柵作全閉環(huán)反饋。通過X、Z、B三軸聯(lián)動可實現(xiàn)非球面類零件的超精密級磨削加工。
1.機(jī)床主要結(jié)構(gòu)(見圖l)
機(jī)床的實際結(jié)構(gòu)圖見圖1,圖2為其加工原理圖,磨頭將裝在轉(zhuǎn)臺上。實際加工中一般采用輸點法,即根據(jù)非球面的函數(shù),計算出一系列點的坐標(biāo)值,將其輸人系統(tǒng),各運動軸將根據(jù)各點的坐標(biāo)聯(lián)動實現(xiàn)對非球面零件的加工。這樣做的好處是可省往系統(tǒng)的計算時間,有利于進(jìn)步加工精度。

?。╨)液體靜壓主軸本磨床的主軸、磨頭、轉(zhuǎn)臺全部采用6腔半球式結(jié)構(gòu),見圖3。其優(yōu)點是對均化橢圓誤差和三棱圓誤差均有利,可以獲得很高的回轉(zhuǎn)精度。由于常規(guī)加工方法的外形誤差多數(shù)為橢圓誤差和三棱圓誤差。

?。?)液體靜壓導(dǎo)軌本磨床的導(dǎo)軌采用閉式矩形結(jié)構(gòu),毛細(xì)管節(jié)流。見圖1,閉式結(jié)構(gòu)的優(yōu)點是精度高、剛度大、精度穩(wěn)定性好,但制造難度大。這種結(jié)構(gòu)經(jīng)過仔細(xì)調(diào)整可以獲得優(yōu)于1μm/300mm的導(dǎo)軌直線度。本磨床的導(dǎo)軌直線度為0.5μm/280mm。
?。?)驅(qū)動單元本磨床采用高精度的滾珠絲杠作為驅(qū)動單元,但由于其固有的特點,會產(chǎn)生周期性的擺動。解決的辦法是采用卸荷結(jié)構(gòu),見圖4。
?。?)聯(lián)動性能及脈沖相應(yīng)要加工出理想的零件,機(jī)床一定要有很好的聯(lián)動性能和脈沖相應(yīng)。首先,機(jī)床應(yīng)移動靈活,不應(yīng)該有爬行。其次,各傳動環(huán)節(jié)應(yīng)有足夠的剛度。另外,應(yīng)仔細(xì)調(diào)整系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)。圖5為該磨床的脈沖響應(yīng)曲線。可以看出,它的脈沖響應(yīng)性能很好,沒有出現(xiàn)丟步和爬行的現(xiàn)象。

?。?)線加工精度檢測及補(bǔ)償在加工中,由于一些因素會影響加工精度,本磨床配備了在線檢測裝置,見圖6。利用丈量的誤差來修正程序,以便得到理想的加工精度。

?。?)機(jī)床隔振環(huán)境振動會對機(jī)床的加工質(zhì)量有很大影響,在精密加工特別是超精密級的加工中,機(jī)床必須很好的隔振。實踐證實,采用氣體減振彈簧能起到很好的減振效果。采用氣體減振彈簧隔振本錢低,安裝十分方便。圖7和圖8分別為裝有氣體減振彈簧和不裝氣體減振彈簧在機(jī)床上測得的振動情況。

2.應(yīng)用簡介
?。╨)本磨床的zui大加工直徑為此φ50mm??捎糜诩庸じ黝愅狗乔蛎骁R及凹非球面鏡。當(dāng)加工凸非球面鏡時,砂輪外圓的母線是直線,而加工凹非球面鏡時,砂輪外圓的母線是弧線。加工中,可采用單點接觸磨削,也可采用多點分別接觸磨削,只是加工函數(shù)有些變化。加工時,首先應(yīng)確定砂輪中心與轉(zhuǎn)臺中心的間隔、砂輪的直徑及砂循環(huán)轉(zhuǎn)軸線的初始角度。這些數(shù)值和非球面透鏡的函數(shù)共同確定了x、z、B三軸聯(lián)動的函數(shù)。本磨床也可用于其他一些超精密級零件的磨削加工,只是加工過程要簡單一些。圖9所示為非球面透鏡的實際加工情況。

?。?)本磨床往掉磨頭,裝上刀架,便是一臺超精密級的數(shù)控車床,見圖10。

?。?)本磨床主要技術(shù)指標(biāo):
主軸回轉(zhuǎn)精度:0.1μm;
砂輪軸回轉(zhuǎn)精度:0.1μm;
轉(zhuǎn)臺回轉(zhuǎn)精度:0.1μm;
導(dǎo)軌直線度:0.5μm/280mm;
X、Z軸定位精度:±0.5μm;
轉(zhuǎn)臺定位精度:±3";
移動分辨率:0.1μm;
加工件面形精度:±2μm/φ500mm。


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