面粗糙度及加工精度不到100nm的超微細精密加工主要采用cBN燒結(jié)體及金剛石燒結(jié)體。而微細外形的切削由于很難在切削后再進行精加工，因此需要利用刀尖部不會發(fā)生變化的“無損刀具”加工至zui后。
　　
　　如前文所述，面粗糙度及加工精度不到100nm的超微細精密加工主要采用cBN燒結(jié)體及金剛石燒結(jié)體。而微細外形的切削由于很難在切削后再進行精加工，因此需要利用刀尖部不會發(fā)生變化的“無損刀具”加工至zui后。
　　
　　另一方面，上述刀具材質(zhì)因硬度高而難以進行刀具成型，要實現(xiàn)微小直徑的話，必須要找到高精度、率的刀具成型方法，這是今后的開發(fā)課題。比如，有一款通過研磨成型的直徑為30μm的方形立銑刀，為了zui大限度地確保截面面積，采用了將圓柱削往一部分的切削刃外形（圖1）。
　　　　金剛石燒結(jié)體立銑刀一般用于切削超硬合金及陶瓷等被削切削材料（圖2）。固然磨損非常少，但切削刃的成型難度較大。由于刀具材質(zhì)本身就是金剛石，因此即使砂輪顆粒也是金剛石，也無法輕松進行研磨。所以需要使用以特殊放電加工技術(shù)進行成型加工的手段。
　　　　高速切削超過拋光
　　
　　始于20年前的高速切削，其研究成果還為我們提供了刀具微小化方面的有效數(shù)據(jù)。比如，要想通過確保截面面積來進步刀具剛性，可以將切削刃之間的溝槽制造成較淺的狀態(tài)，前角為負值（切削刃的前傾面比直角向進給方向一側(cè)前傾）的切削刃外形zui為有利。負值的切削刃其刀尖角度為鈍角（大于90°），可順利進行高速切削。而且，刀尖角度為120°的六棱柱外形的立銑刀也在高速切削的研究過程中被提了出來。
　　
　　擴大切削面積后切削刃軌跡會作為切削痕跡被保存下來，也就是說可通過切削刃的位置和動作來控制切削面。因此可借助精細的切削刃及工作狀態(tài)（轉(zhuǎn)速、進給速度、切進量）來進步精度。而與之相比，研磨則通過砂輪顆粒與研磨面接觸，并從砂輪上脫落來進行加工。砂輪顆粒的位置無法直接控制，有時砂輪顆粒反而會對研磨面造成線狀損傷。固然砂輪顆粒的脫落是正?，F(xiàn)象，但切削刀具出現(xiàn)部分脫落的話則屬于卷刃，會給加工帶來題目。假如是納米級加工的話，兩者實在并無多大差距。假如是納米級加工的話，研磨未必能夠獲得比切削更為精細的加工面。者嘗試過在粗加工中使用研磨的實驗。以10萬r/min高轉(zhuǎn)速切進0.1mm時，獲得了相當高的工作效率。