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系統(tǒng)用于硅晶片多線切割機(jī)的切削液過濾與冷卻，過濾的雜質(zhì)顆粒的直徑一般在10～20微米之間。切削液流量不小于200L/min。切削液冷卻后的溫度為20℃±2℃。系統(tǒng)出水口處揚程大于10米。zui小可過濾直徑10微米的固體顆粒。每班工作時間按連續(xù)4小時計算，每小時產(chǎn)生約3公斤雜質(zhì)，體積約1.5L。過濾系統(tǒng)無易損件，清洗、維護(hù)方便。系統(tǒng)水箱容積大于500L，分為回流切削液區(qū)和供液凈化存儲區(qū)，做重度防腐處理?；亓骺诓讳P鋼過濾網(wǎng)尺寸應(yīng)保證zui高流量200L/min的切削液順利通過，應(yīng)拆卸方便、易于清洗?；亓骺跒V網(wǎng)上方有蓋板，蓋板上有回流口.回流口蓋板、濾網(wǎng)依次取下后，可進(jìn)行回流箱的手動清洗工作，供液箱也應(yīng)具備此類蓋板，方便清洗、維護(hù)?；亓飨渖习惭b有攪拌電機(jī)，攪拌電機(jī)不受切削液系統(tǒng)總啟動、停止開關(guān)控制，而由專門的啟動、停止按鈕控制，可以在切削液提升泵停止工作后單獨運行，防止回流箱硅粉沉積。回流箱安裝有液位計，當(dāng)液位低于警戒值時，可自動控制一級過濾提升泵停止運轉(zhuǎn)，防止水泵吸入空氣?；亓飨渖嫌幸粋€溢流回流口，用以接納因管路內(nèi)流量、壓力等變化而從切割設(shè)備溢流管路流回的切削液。采用1英寸自鎖型快速接頭。煙臺云帆過濾系統(tǒng)有限公司提供的整套過濾系統(tǒng)采用4級過濾方式，一級粗過濾采用100～150目不銹鋼濾網(wǎng)，用來過濾在切割過程中產(chǎn)生的尺寸稍大的硅碎片，二級過濾采用精度80微米反沖洗不銹鋼滾筒過濾，三級采用渦旋分離器過濾精度15-20微米，四級采用雙聯(lián)精密過濾器做精密處理，過濾精度5-10微米。具備液位、溫度、流量自動監(jiān)控及報警功能。采用工業(yè)用內(nèi)置式油冷卻機(jī)作為冷卻裝置，對凈化存儲區(qū)的切削液進(jìn)行溫度控制。制冷機(jī)制冷量30000瓦。外部供電電壓為三相380V。在系統(tǒng)出水口配置切削液溫度、流量監(jiān)測裝置，并預(yù)留流量監(jiān)測器與切割機(jī)主機(jī)控制系統(tǒng)相連的端口。
